氧化铝-Al2O3

氧化铝(Al2O3)

氧化铝(Al2O3

氧化铝(Al2O3)是精密陶瓷中最常用的材料。可实现相对的低成本生产制造。特别是电气绝缘性、化学稳定性方面性能出色,主要应用于结构材料或耐损耗材料上。

特性

  • 电绝缘性
  • 耐磨耗性
  • 耐热性
  • 耐腐蚀性
  • 耐等离子性

 

主要用途

  • 半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘)
  • 粉碎机部件(分级机、气流式粉碎机、珠磨机)
  • 一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承)
  • 高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具)
  • 耐磨耗部件(拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨)
  • 电绝缘部件(绝缘子、垫片、衬套)

主营业务

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