精密清洗

泛半导体零部件的精密清洗

        零部件精密净洗是泛半导体行业（如集成电路和液晶面板）制造过程中的重要工艺环节，用于去除制造工艺设备零部件在生产步骤中可能存在的杂质，避免杂质、磨损等因素影响产品性能和良率。

       精密净洗可以提高设备的稼动率，延长制程设备的使用寿命；是保障客户产品合格性和良率必不可少的高频次工序。 

清洗适用图片

       精密清洗是去除设备配件的颗粒、离子杂质等污染物。此外，按照各工艺条件进行维护、 管理受损配件的表面，将母材的损伤降低，为了延长产品寿命、改善均匀性、控制微污染，提供丰富多样的解决方案。